UEC6000L 中试型超声波光刻胶喷涂设备

平板显示器电路的制作、等离子显示器障壁的制作、液晶显示器彩色滤光片的制作均需采光光刻技术，均需使用不同类型的光刻胶。UEC6000L 中试型超声波光刻胶喷涂设备 可以应用于各种纳米及亚微米级功能性涂层薄膜的研发及生产，如：晶圆、半导体、陶瓷片、玻璃表面涂覆光刻胶、聚酰亚胺等光敏性材料。超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂覆，相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺，其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。超声喷涂是一种简单有效且经济稳定的光刻胶涂覆解决方案，超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量，极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性。

适用于研发及小批量生产
落地型设备
原料利用率可达95%
涂层均一且稳定，均匀度±5%
有效喷涂面积:650mmX 650mm

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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