UEC6000S 超声波光刻胶涂覆设备

平板显示器电路的制作、等离子显示器障壁的制作、液晶显示器彩色滤光片的制作均需采光光刻技术，均需使用不同类型的光刻胶。落地型的超声波喷涂设备可以应用于各种纳米及亚微米级功能性涂层薄膜的研发及生产，如：光刻胶、聚酰亚胺、导电涂层等。超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂覆，相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺，其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。超声喷涂是一种简单有效且经济稳定的光刻胶涂覆解决方案，超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量，极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性。

• 适用于研发及小批量生产
• 落地型设备
• 原料利用率可达95%
• 涂层均一且稳定，均匀度±5%
• 有效喷涂面积:500mmX 500mm

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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