UEC6000XL (抽屉式) 超声波大面积光刻胶涂覆设备

一种配置有2个固定超声波喷嘴或一个往复式基板的输送系统，用于大规模生产。UEC6000XL (抽屉式) 超声波大面积光刻胶涂覆设备 是一种生产规模的涂层系统，具有在玻璃基板上进行涂层涂覆的能力，涂覆面积可达1280*710mm（涂覆面积可定制）基板采用类似抽屉的模式进行出料和送料，既节省了空间又利于大面积基材的上下料。超声波喷涂技术用于半导体光刻胶涂覆，相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺，其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。超声喷涂是一种简单有效且经济稳定的光刻胶涂覆解决方案，超声喷涂系统可良好的控制喷涂流量、涂覆速度和载料量，极低的载气流量确保了喷涂面积的精确性。

适用于大批量生产
大面积、全自动、可编程的独立系统
原料利用率可达95%
涂层均一且稳定，均匀度±5%
有效喷涂面积:1280mmX 710mm

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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