棱镜喷涂系统 - 薄基板、晶圆、箔和薄膜涂层应用 - 杭州驰飞

棱镜喷涂系统


加热真空吸盘为棱镜喷涂系统提供了灵活性

杭州驰飞是太阳能,半导体和燃料电池市场的高性能超声波喷涂设备的制造商,宣布为超声波喷涂系统提供加热真空吸盘选项。

UAM6000的加热真空吸盘选项非常适用于薄基板,晶圆,箔和薄膜涂层应用,它可以增强对基板的控制,以实现所需的涂层厚度和均匀性。可以对加热的真空吸盘进行编程,以将基板加热至150摄氏度。真空吸盘有两种尺寸可供选择,可满足各种要求,采用烧结铝夹板,可在整个卡盘表面实现均匀的真空吸尘。通过集成的文丘里真空发生器提供真空。

灵活且高度可配置的超声喷涂系统是半导体,燃料电池和电子组装市场中生产和研发应用的理想选择。所有超声波系统均采用杭州驰飞的无喷嘴超声波喷头技术,可提供高达99%的材料转移效率。
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超声波喷涂玻璃基板视频




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