芯片制造中的重要仪器
芯片制造中的重要仪器 – 超声波薄膜喷涂设备 – 驰飞超声波喷涂
湿电子化学品指为微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、互联等）制程中使用的各种电子化工材料。按用途可分为通用化学品（又称超净高纯试剂）和功能性化学品（以光刻胶配套试剂为代表）。
其中超净高纯试剂需求量占比达88%，占比的依次是，硫酸、双氧水、氨水、氢氟酸、异丙醇、硝酸以及磷酸；功能性化学品占比达12%，占比依次是，半导体用显影液、刻蚀液、面板用显影液、剥离液以及缓冲刻蚀液。
通用湿电子化学品
硫酸铈法测定双氧水含量
仪器配置：电位滴定仪，DMi140-SC氧化还原电极，DV1010滴定管
功能性湿电子化学品
显影液-四甲基氢氧化铵测定
仪器配置：电位滴定仪，DGi111-SC/DGi115-SC酸碱滴定电极，DV1020滴定管。
缓冲刻蚀液-氟化铵和氢氟酸测定
仪器配置：电位滴定仪，DGi111-SC/DGi115-SC酸碱滴定电极，DV1010滴定管
铝刻蚀液-硝酸、磷酸、醋酸，三元混酸含量的滴定
仪器：电位滴定仪+DGi113-SC非水酸碱滴定电极
DispenSix全自动取样、在线滴定系统
在线分析系统所有化学分析部件均采用模块化设计，分析模块设计及材料选用完全耐腐的高性能材料如：玻璃, PTFE, PVDF 和 FEP。在实际运用中，用户可以根据检测指标进行配置，并根据工厂生产要求自行设定最适宜的分析周期。自动采集样品和分析测定，分析过程结束后，仪器自动用去离子水冲洗反应杯，将分析结果显示到仪器屏幕，并通过以太网将数据传输至中控室LabX软件工作站。同时labX工作站还可以实现与LIMS、ERP等系统的数据对接，真正实现24小时无人值守的监控。
全自动高精度取样单元Liquid Handler是一个有6个阀门的滴定管功能，可以精准吸液、溃液和准备，可在生产线上实时监控槽液酸、碱、铜离子等含量。下面是Liquidhandler分别在线测定六价铬的和在线测定铀含量的方案，可见梅特勒托利多在线滴定系统的多元化。
模块化的设计，任意零部件磨损或者老化可以进行更换和维修，维修方便简单，经过培训，客户可以自己进行更换和维修。
现今，中国已成为全球最大的半导体消费市场。物联网、5G通信、人工智能等下一轮终端需求，为中国大陆半导体产业发展创造了新的机遇。我们在电子湿化学品的应用方法和案例非常丰富，可以提供多种解决方案。
因超声波喷涂具有精细可控喷涂流速、涂敷涂层薄且均匀、喷涂范围可控等优势非常适用于喷涂电子产品，并越来越多地用于研究和生产。超声喷涂技术可用于任何宽度的基材上沉积均匀的涂层。超声波喷涂技术能够以极高的均匀性制造这些非常薄的涂层，获得精细和可重复的结果，以提高产品的功能。
