光刻胶涂布机
光刻胶涂布机 – 曲面涂布光刻胶 – 半导体喷涂 – 驰飞超声波喷涂
超音波喷涂系统软件通过数年科学研究和应用，已被证实可用于半导体业，可制取均匀分布的光刻或聚酰亚胺薄膜镀层。超声波精密涂层系统可操纵从亚微米到100μm以上的薄厚，而且可以喷涂一切形状或规格，是旋涂和传统式涂布等别的镀层技术应用的经济发展取代方案。
聚酰亚胺和光刻胶技术镀层常见于MEMS、透镜、微流体器件、微电子器件和过滤器。超声雾化自动喷涂设备可以在硅晶片、玻璃、陶瓷和金属等基底上喷涂涂层，即使是3D不平整的基底也可以进行喷涂制备均匀的涂层。
超声波精密涂层系统是一种简易、经济的光刻胶和聚酰亚胺镀层加工工艺。超音波高精密喷涂系统可以采用高精密的液态系统软件技术性对液态流动速度、喷涂速率和镀层薄厚开展精细化操纵。超音波高精密光刻胶雾化喷涂技术不仅可以避免过度喷涂，而且制备的涂层非常薄且均匀。
