ITO薄膜是一种非常重要的高度简并N型半导体材料。ITO薄膜身兼低电阻率、高透光率、机械硬度高、良好的化学稳定性以及强的附着能力等优异性能,使得它在平板显示,交通工具,防护,发光隐身材料、高层建筑、太阳能利用和灵敏器件等领域具有极其广泛的应用。
我公司用超声波喷雾热解法成功制备出了结构、光学和电学性能优异的ITO薄膜,同时可为其它薄膜材料的经济和绿色制备提供技术借鉴。其采用超声波雾化喷头技术,可将前驱体溶液或悬浮液均匀雾化后喷入管式炉中进行高温热分解制备超细粉体,是喷雾热分解(又名喷雾热裂解)系统中的关键雾化装置。