超声波喷雾热解薄膜

采用超声喷雾热分解法在玻璃衬底上以醋 酸锌水溶液 [Zn(CH，COO) ·2H 0]、醋酸铵(CH3COONH )和硝酸铝[A1(NO )3·9H O]的混合溶液为前驱体生成了 N—A1共掺 P型氧化锌薄膜。考察了前驱体溶液浓度 、载气流速 、热解温度对实验结果的影响 。用 XRD和 SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征 ，结果表 明所制备 的薄膜为六角纤锌矿结构的氧化锌薄膜 ，表面均匀 ，结构致密 。对薄膜进行了电学测试 和光致发光性能测试，结果表明制备的薄膜为P型氧化锌薄膜 ，薄膜的光致发光明显具有氧化锌薄膜的特点

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