超声波喷雾热解涂层装置
超声波喷雾热解是一种简单的气溶胶合成技术,广泛用于合成纳米材料,如薄膜或纳米颗粒。 由于其易于实现的可行性,灵活性和成本效益,超声波喷雾热解法是化学气相沉积(CVD)的重要替代方法。 超声喷雾热解的前体通常通过溶胶 - 凝胶途径制备。 通过改变加工参数,可以容易地改变合成的纳米颗粒或膜的组成。
超声波喷雾热解使您可以完全控制重要的工艺参数,例如:
- 超声波振幅
- 前体解决方案
- 前体组成/粘度
- 流量
- 沉积温度
- 基板温度
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