在MEMS上沉积光致抗蚀剂
在MEMS上沉积光致抗蚀剂 – 光刻胶喷头 – 超声波喷片 – 驰飞超声波喷涂
驰飞超声波在MEMS和其他半导体晶片衬底上沉积光刻胶方面拥有广泛的应用专业知识。超声波喷涂系统已被证明适用于需要光刻胶或聚酰亚胺膜的均匀、可重复涂层的各种应用。
我们的涂层解决方案环保、高效且高度可靠，能够大幅减少过度喷涂，节省原材料、水和能源使用，并提供改进的工艺重复性、传输效率、高均匀性和减少排放。
杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。
