怎么把光刻胶喷涂到晶圆片上 ？

怎么把光刻胶喷涂到晶圆片上 – 光刻胶涂布机 – 驰飞超声波喷涂

驰飞超声提供用于半导体光刻胶涂覆的超声波喷涂技术，相比于旋涂、浸涂等传统涂覆工艺，其有着均匀度高、对微结构包裹性好、涂覆面积可控等优势。

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英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION